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Semiconductor Solutions

Eurotherm are experts in control performance for semiconductor applications

What we do at Eurotherm

At Eurotherm we passionately support our customers with specialist application knowledge and experience. The semiconductor industry demands greater accuracy at higher temperatures during wafer processing applications. We can help you achieve process excellence through machine automation efficiency and regulatory compliance:

über 25 Jahre Erfahrung bei der Optimierung der Regelung in Halbleiteranwendungen

Gro?e Auswahl an branchenspezifischen Kommunikationsprotokollen wie EtherCAT, Ethernet/IP und DeviceNet

Unterstützt von einem hochqualifizierten Expertenteam im Bereich Forschung und Entwicklung.

Mini8? Mehrkanalregler

Kompakte, leistungsstarke und kostengünstige L?sung mit EtherCAT

  • Kompakt
  • Leistungsstarke Mehrkanal-Temperaturregelung: Hochgenaue analoge Messung
  • Kostengünstig: Unterstützt bis zu 16 Regelkreise oder 32 Messkan?le
  • EtherCAT-Kommunikation: Ideal für Halbleiteranwendungen
  • Andere Kommunikationsoptionen: Modbus TCP / Modbus Seriell (RS485) / PROFIBUS / DeviceNet / Ethernet IP
Explore Mini8 Mehrkanalregler

EPack? Thyristor-Leistungssteller – 1PH | 2PH | 2PH | 3PH

Ideal for semiconductor machinery – compact and highly adaptable for specialist applications

  • Kompaktes und robustes Design: Hohe Zuverl?ssigkeit in anspruchsvollen Umgebungen
  • Einfache Inbetriebnahme und Bedienung
  • Einfacher Anschluss: SPSen, vernetzte Ger?te und Industrie 4.0 / IIoT Technologien
  • Maximiert die Prozesseffizienz: Erweiterte konfigurierbare Betriebsarten erm?glichen eine enge Anpassung an die Lastkennlinie.
  • Kommunikationsoptionen: Modbus TCP/Ethernet I/P/Profinet/EtherCAT/EtherCAT
Discover EPack

Programmierbare Regler der Serie EPC3000

Hilft bei der Maximierung des Ertrags bei gleichzeitig hoher, langlebiger Produktqualit?t

  • Schnelle, genaue Prozessmesseing?nge mit hoher thermischer Stabilit?t

  • Verbesserter Regelalgorithmus, reagiert schnell auf Prozessst?rungen

  • Zertifiziert nach Achilles? Communications Robustness Level 1: Cybersicherheitsstandard der weltweit gr??ten Lieferanten/Endanwender von industriellen Steuerungs- und Sicherheitssystemen.

  • Ethernetf?hig: Schneller Zugriff auf Prozess- und Diagnoseinformationen

  • Einfache Integration: Externe SPS- oder SCADA-Systeme über einen Standard-RJ45-Stecker

  • Kommunikationsoptionen: Modbus TCP/Modbus seriell (RS485)/Ethernet I/P Server/ BACnet Slave

Discover Programmierbare Regler der Serie EPC3000

Hervorragende OEM-L?sungen

Forschung und Entwicklung mit kundenspezifischen Anpassungen bedeuten für OEMs einen Marktvorteil und bieten den entscheidenden Mehrwert.

  • – Anpassungsoptionen:
    • Kundenspezifische Belabelung der Ger?te helfen OEM bei der Markenf?rderung
    • Kundenspezifische Soft- und Hardwareentwicklungen erh?hen den Wert eines OEM-Angebots.

  • Sofort einsatzbereit; spart Zeit, Geld und minimiert Ungenauigkeiten:

Vorkonfiguriert mit Klondateien, die notwendigen Parameter/Konfiguration einstellen – Produkte sind vorkonfiguriert/funktionieren wie erwartet.

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